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核心参数
核心参数
靶材材质
金属靶材、碳靶材
靶材尺寸
28mm
仪器介绍
HSC120离子束刻蚀镀膜仪,配备一把鞍型场离子枪,用于对样品进行精细化镀膜。
该产品设置有专利设计的金字塔型靶材托,可以同时安装四块不同的靶材且互相不干扰,可以同时支持金属靶材和碳靶材,无需用户换用不同的机器或频繁更换靶材,即可完成高效镀膜或复合镀膜。
>>>高质量离子束刻蚀镀膜,膜颗粒小,膜层薄,不改变样品表面形貌
>>>独家专利保护多靶材头,可以同时放入多种不同材质的靶材,且方便切换
>>>无需更换镀膜头,同时兼容金属靶材和碳靶材
>>>样品台可倾转、可连续旋转、进一步提高了镀膜的均一性
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