应用分享|Sensofar 3D光学轮廓仪在ePSI技术融合测量上的应用

2026/08/17 15:17 I 阅读:19

应用领域

半导体

检测样品

晶圆测试

检测项目

参考标准

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发布时间

2026/08/17

方案详情

在半导体、精密光学等高端制造领域,表面测量常面临"精度"与"范围"的两难——白光干涉(CSI)能扫数百微米却难及纳米级精度,相移干涉(PSI)达亚纳米精度却量程受限。而Sensofar的ePSI技术,用创新融合破解了这一难题。

产品配置单

分析仪器

Sensofar3D光学轮廓仪Sneox090

型号:S-neox

品牌:Sensofar

产地:西班牙

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